Bơm khuếch tán có ưu điểm là dễ dàng tạo ra chân không với công suất lớn và tốc độ làm việc nhanh (có thể tới vài chục mét khối trong một giây) và có giá thành thấp.
Điểm kém của bơm khuếch tán là giới hạn làm việc, nó không thể tạo ra các chân không quá lớn (chỉ không quá 10−7 Torr, đạt tới 10−8 Torr, và đôi khi có thể tới mức 10−9 Torr) và nó đòi hỏi lượng nước làm lạnh rất lớn.
Hoàn toàn không có tiếng ồn và rất hữu ích cho các hệ chân không cần yên tĩnh (ví dụ trong các kính hiển vi điện tử, nơi các nhiễu cơ học cần được loại bỏ.
